“蘇州天準(zhǔn)”研發(fā)的復(fù)合式高精度坐標(biāo)測(cè)量?jī)x獲重大突破。 □記者 周建越 攝

“項(xiàng)目研發(fā)至今，已申請(qǐng)發(fā)明專利20項(xiàng)、發(fā)表論文7篇、申請(qǐng)軟件著作權(quán)3項(xiàng)。”昨天，蘇州天準(zhǔn)科技股份有限公司舉行新聞通氣會(huì)。由該公司承接的“國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)——復(fù)合式高精度坐標(biāo)測(cè)量?jī)x器開(kāi)發(fā)和應(yīng)用”獲重大突破，精度逼近0.3微米的最終目標(biāo)。由此，中國(guó)成為繼德國(guó)、日本之后掌握同等高精度測(cè)量技術(shù)的第三個(gè)國(guó)家。

“這是我國(guó)在儀器儀表領(lǐng)域的一個(gè)重大自主創(chuàng)新成果，標(biāo)志著中國(guó)在高精度測(cè)量領(lǐng)域達(dá)到全球頂尖水平。目前，國(guó)內(nèi)還沒(méi)有其他企業(yè)能達(dá)到‘蘇州天準(zhǔn)’這樣的水平，該精度級(jí)測(cè)量已是高端制造業(yè)中的皇冠。”中國(guó)儀器儀表協(xié)會(huì)機(jī)械測(cè)量分會(huì)理事長(zhǎng)謝華錕說(shuō)。

記者在該公司恒溫車間看到，這款測(cè)量?jī)x由測(cè)量部分和電腦部分構(gòu)成。品質(zhì)工程師陳偉超介紹：

“在測(cè)量部分的每個(gè)面上都裝有探針，儀器可自動(dòng)掃描，并將測(cè)量數(shù)據(jù)傳送到電腦，來(lái)獲得精準(zhǔn)精密數(shù)據(jù)。”該重大專項(xiàng)在“超精密三軸運(yùn)動(dòng)平臺(tái)、高精度復(fù)合式探測(cè)系統(tǒng)”兩方面取得重大突破。同時(shí)，在多測(cè)頭標(biāo)定與數(shù)據(jù)融合、21項(xiàng)誤差補(bǔ)償?shù)阮I(lǐng)域也都有突破與創(chuàng)新。

近年來(lái)，我國(guó)精密測(cè)量?jī)x器產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅速，但高精度精密測(cè)量?jī)x器依然需要進(jìn)口。“十二五”時(shí)期，國(guó)家科技部啟動(dòng)“國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)”，重點(diǎn)支持包括精密光學(xué)儀器與系統(tǒng)在內(nèi)的具有市場(chǎng)推廣前景的重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)。

“1微米相當(dāng)于一根頭發(fā)直徑的五六十分之一。這0.3微米極精度測(cè)量是5年前由德國(guó)、日本推出的。三年前，當(dāng)我聽(tīng)到蘇州企業(yè)要搞這樣的高精度測(cè)量?jī)x、看到蘇州這幫年輕人在悉心攻關(guān)時(shí)，我的眼淚都要掉下來(lái)了。”今年已70多歲、一生從事測(cè)量?jī)x器研究的謝華錕說(shuō)。

“天準(zhǔn)科技”由2016年蘇州十大科技創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)人物之一的徐一華于2005年在蘇州科技城創(chuàng)辦。他曾參與多項(xiàng)國(guó)家“863計(jì)劃”等重大項(xiàng)目，在微軟研究院工作多年。作為中國(guó)唯一具有研發(fā)亞微米級(jí)超高精度測(cè)量?jī)x器能力的企業(yè)，“天準(zhǔn)科技”在2013年承擔(dān)起這項(xiàng)重大專項(xiàng)后，就會(huì)同中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院、天津大學(xué)、中國(guó)科學(xué)院光電研究院等共同攻關(guān)。

“事實(shí)上，工業(yè)4.0及智能制造都呼喚有更精密的測(cè)量?jī)x器作為后盾與基礎(chǔ)。通過(guò)實(shí)施好這一國(guó)家重大專項(xiàng)項(xiàng)目，將進(jìn)一步為我國(guó)精密制造業(yè)提供工業(yè)自動(dòng)化和智能化解決方案。”徐一華說(shuō)。（記者 周建越）