徐州日?qǐng)?bào)訊（全媒體記者 王正喜）11月19至20日，第二屆中國(guó)半導(dǎo)體大硅片論壇在徐州舉行，協(xié)鑫、合晶、新昇、有研、鑫晶、金瑞泓、申和等產(chǎn)業(yè)龍頭企業(yè)及設(shè)備重點(diǎn)企業(yè)的專(zhuān)家學(xué)者齊聚徐州，探討大硅片生產(chǎn)技術(shù)的挑戰(zhàn)、集成電路大硅片的生產(chǎn)加工設(shè)備的競(jìng)爭(zhēng)格局與設(shè)備國(guó)產(chǎn)化進(jìn)展、電子級(jí)多晶硅應(yīng)用及技術(shù)發(fā)展、12英寸半導(dǎo)體單晶爐國(guó)產(chǎn)化的意義與挑戰(zhàn)等半導(dǎo)體前沿課題。

大硅片研發(fā)與商業(yè)化道路尤其艱難，技術(shù)人才，產(chǎn)業(yè)積累，缺一不可�，F(xiàn)在國(guó)產(chǎn)大硅片已經(jīng)突破了從“0”到“1”的第一關(guān)。“我們希望，在不遠(yuǎn)的將來(lái)有更多的企業(yè)實(shí)現(xiàn)從“0”到“1”的第一關(guān)，更重要的是實(shí)現(xiàn)從“1”到“∞”的國(guó)產(chǎn)大硅片的終極跨越。這個(gè)目標(biāo)，是全體半導(dǎo)體人的使命擔(dān)當(dāng)。”江蘇鑫華半導(dǎo)體材料有限公司總經(jīng)理田新在發(fā)言中說(shuō)。

現(xiàn)在一般的概念8英寸以上的尺寸都可稱之為大硅片。大硅片的生產(chǎn)工藝技術(shù)也是從拉單晶開(kāi)始，它不僅僅是面積增大帶來(lái)的工藝復(fù)雜度增加，而且在其他諸多控制因素上要求更高了。合晶科技股份有限公司技術(shù)長(zhǎng)李文中博士說(shuō)，硅片核心技術(shù)史是一個(gè)挑戰(zhàn)極限的過(guò)程。例如晶體生長(zhǎng)，已經(jīng)到了完全消除原生缺陷的完美狀態(tài)。大硅片材料，目前還處于被國(guó)外大公司壟斷的格局，尤其是12英寸硅片，全球市場(chǎng)呈現(xiàn)出高度集中和壟斷態(tài)勢(shì)，國(guó)內(nèi)同行還需要能夠沉下心來(lái)加強(qiáng)研發(fā)、實(shí)現(xiàn)突破。

行業(yè)首席專(zhuān)家、中銀國(guó)際證券研究部副總裁楊紹輝說(shuō)，海內(nèi)外設(shè)備商正在角逐中國(guó)半導(dǎo)體大硅片市場(chǎng)。從目前已交付半導(dǎo)體工廠來(lái)看，使用中國(guó)自產(chǎn)設(shè)備的比例還不到一成，但從長(zhǎng)遠(yuǎn)看，無(wú)論是半導(dǎo)體級(jí)硅材料的加工制造，還是半導(dǎo)體硅片加工設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備等的本土化，都是大勢(shì)所趨，國(guó)家也提出了中國(guó)半導(dǎo)體自給率的路線圖，鼓勵(lì)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，再苦再累也要攻克半導(dǎo)體路上的各種難關(guān)。

2018年5月初，位于徐州經(jīng)開(kāi)區(qū)的江蘇鑫華半導(dǎo)體材料科技有限公司集成電路用高純度硅料小批量出口韓國(guó)，并已向國(guó)內(nèi)部分晶圓加工廠批量供貨。目前鑫華半導(dǎo)體已與國(guó)內(nèi)近十家半導(dǎo)體硅片廠商建立供應(yīng)關(guān)系，并與其他廠商開(kāi)展認(rèn)證工作。同樣位于徐州經(jīng)開(kāi)區(qū)的徐州鑫晶半導(dǎo)體大硅片項(xiàng)目也進(jìn)展順利，規(guī)劃建設(shè)國(guó)際先進(jìn)的8英寸、12英寸半導(dǎo)體大硅片長(zhǎng)晶及切磨拋生產(chǎn)線，項(xiàng)目主體廠房已全部完工，正在進(jìn)行一期生產(chǎn)設(shè)備安裝，預(yù)計(jì)2019年底投產(chǎn)。項(xiàng)目建成后，將從源頭上對(duì)我國(guó)集成電路制造產(chǎn)業(yè)的發(fā)展提供關(guān)鍵支撐，具有重要戰(zhàn)略意義。與會(huì)專(zhuān)家學(xué)者在現(xiàn)場(chǎng)參觀鑫華半導(dǎo)體項(xiàng)目后，對(duì)于徐州打造全球領(lǐng)先的半導(dǎo)體大硅片制造基地、全國(guó)重要的集成電路設(shè)備生產(chǎn)基地和封測(cè)產(chǎn)業(yè)新高地這一目標(biāo)，感到很受鼓舞，愿意在今后的產(chǎn)業(yè)化配套及設(shè)備國(guó)產(chǎn)化方面繼續(xù)共同努力。